熱式質(zhì)量流量計(jì)
熱式質(zhì)量流量計(jì)（Theermal Mass flowmeters,簡(jiǎn)稱(chēng)TMF）在國(guó)內(nèi)習(xí)慣稱(chēng)為熱式流量計(jì)，是利用流體流過(guò)外熱源加熱的管道時(shí)產(chǎn)生的溫度場(chǎng)變化來(lái)測(cè)量流體質(zhì)量流量，或利用加熱流體時(shí)流體溫度上升某一值所需的能量與流體質(zhì)量之間的關(guān)系來(lái)測(cè)量流體質(zhì)量的一種流量?jī)x表。一般用來(lái)測(cè)量氣體的質(zhì)量流量。具有壓損低；流量范圍度大；高精度、高重復(fù)性和高可靠性；無(wú)可動(dòng)部件以及可用于極低氣體流量監(jiān)測(cè)和控制等特點(diǎn)。
利用加熱流體的熱流（或溫度）變化測(cè)量流體的質(zhì)量流量已有很長(zhǎng)的歷史。早起的TMF直接將加熱線(xiàn)圈和測(cè)溫元件放入流體中與流體直接接觸，是一種接觸式流量計(jì)，由于不能解決腐蝕和磨損以及防爆等問(wèn)題，使它的工業(yè)應(yīng)用受到很大的限制。托馬斯流量計(jì)是這種流量計(jì)的代表，主要用來(lái)測(cè)量較大流量的氣體質(zhì)量流量；到了20世紀(jì)50年代，人們提出了一種與流體不接觸的邊界層流量計(jì)，客服了接觸式流量計(jì)的缺點(diǎn)，但測(cè)量結(jié)果易受介質(zhì)參數(shù)（如導(dǎo)熱系數(shù)、比熱容、粘度等）的影響，可以用來(lái)測(cè)量較大的液體流量；到70年代，基于測(cè)量氣體的微小流量，隨著科技的發(fā)展，經(jīng)過(guò)對(duì)流量計(jì)結(jié)構(gòu)上的重新設(shè)計(jì)，在接觸式流量計(jì)的基礎(chǔ)上，人們提出了一種浸入型的TMF，也得到了很快的發(fā)展，可以用來(lái)測(cè)量較大管徑的氣體流量。
綜上所述，TMF在目前是一種主要用來(lái)測(cè)量氣體質(zhì)量流量的直接式質(zhì)量流量計(jì)。按結(jié)構(gòu)原理主要可以分成以下幾種：
⑴ 浸入型TMF，加熱器和溫度探頭都浸入到被測(cè)流體中，但結(jié)構(gòu)上采用堅(jiān)固結(jié)構(gòu)，用不銹鋼套管保護(hù)，使加熱元件和測(cè)溫元件并不跟流體接觸。浸入型流量計(jì)又分為在線(xiàn)型和插入型兩種。在線(xiàn)型適用于中等管道，而插入型可測(cè)量很大管道的氣體測(cè)量。
⑵ 熱分布型TMF，這是一種非接觸式流量計(jì)。適用于測(cè)量微小氣體質(zhì)量流量。帶分流的熱分布型TMF也可將流量擴(kuò)展到較大的水平。
⑶ 邊界層流量計(jì)，這也是一種非接觸式流量計(jì)。由于利用流體邊界層的傳熱來(lái)測(cè)量流量，并不需對(duì)全部介質(zhì)加熱，所以反應(yīng)較快。適用于較大管徑的液體流量。
為了討論的連續(xù)性，我們先來(lái)討論托馬斯流量計(jì)的結(jié)構(gòu)和原理。
1.托馬斯流量計(jì)
2.
浸入型熱式質(zhì)量流量計(jì)
① 浸入型熱式質(zhì)量流量計(jì)原理
② 浸入型熱式質(zhì)量流量的分類(lèi)
③ 浸入型熱式質(zhì)量流量計(jì)的特點(diǎn)
3.熱分布型熱式質(zhì)量流量計(jì)
① 熱分布型熱式質(zhì)量流量計(jì)的原理
②熱分布型熱式質(zhì)量流量計(jì)的結(jié)構(gòu)與分類(lèi)
③ 熱分布型熱式質(zhì)量流量計(jì)的特點(diǎn)
A.熱分布型熱式質(zhì)量流量計(jì)的優(yōu)點(diǎn)
B.熱分布型熱式質(zhì)量流量計(jì)的缺點(diǎn)
④熱分布型熱式質(zhì)量流量計(jì)的使用
4.邊界層流量計(jì)
① 邊界層流量計(jì)測(cè)量原理
② 邊界層流量計(jì)存在的問(wèn)題
