熱式質(zhì)量流量計(jì)
熱式質(zhì)量流量計(jì)（Theermal Mass flowmeters,簡稱TMF）在國內(nèi)習(xí)慣稱為熱式流量計(jì)，是利用流體流過外熱源加熱的管道時(shí)產(chǎn)生的溫度場變化來測量流體質(zhì)量流量，或利用加熱流體時(shí)流體溫度上升某一值所需的能量與流體質(zhì)量之間的關(guān)系來測量流體質(zhì)量的一種流量儀表。一般用來測量氣體的質(zhì)量流量。具有壓損低；流量范圍度大；高精度、高重復(fù)性和高可靠性；無可動部件以及可用于極低氣體流量監(jiān)測和控制等特點(diǎn)。
1.托馬斯流量計(jì)
2.
浸入型熱式質(zhì)量流量計(jì)
浸入型TMF是在原來熱線接觸式流量計(jì)的基礎(chǔ)上發(fā)展起來的一種堅(jiān)固型熱式質(zhì)量流量計(jì)，它解決了接觸式TMF在結(jié)構(gòu)上的缺陷，采用適用于工業(yè)應(yīng)用的堅(jiān)固的高可靠性傳感器，近二十多年來得到了很快的發(fā)展。
① 浸入型熱式質(zhì)量流量計(jì)原理
② 浸入型熱式質(zhì)量流量的分類
③ 浸入型熱式質(zhì)量流量計(jì)的特點(diǎn)
3.熱分布型熱式質(zhì)量流量計(jì)
從圖6-14的曲線可知，浸入型TMF工作在曲線的后半段，質(zhì)量流量與溫差ΔT成反比，不能用來測量微小流量。熱分布型TMF是近二十多年來發(fā)展起來的測量微小氣體流量的儀表。它工作在圖6-14曲線的前半段，在一定的流量范圍內(nèi)，質(zhì)量流量與溫差ΔT成正比，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制備、石油化工、冶金、制藥、原子能等工業(yè)中微小氣體流量測量。
① 熱分布型熱式質(zhì)量流量計(jì)的原理
②熱分布型熱式質(zhì)量流量計(jì)的結(jié)構(gòu)與分類
③ 熱分布型熱式質(zhì)量流量計(jì)的特點(diǎn)
A.熱分布型熱式質(zhì)量流量計(jì)的優(yōu)點(diǎn)
B.熱分布型熱式質(zhì)量流量計(jì)的缺點(diǎn)
④ 熱分布型熱式質(zhì)量流量計(jì)的使用
4.邊界層流量計(jì)
① 邊界層流量計(jì)測量原理
邊界層流量計(jì)是由托馬斯流量計(jì)發(fā)展而來的一種非接觸式流量計(jì)，可以用來測量氣體，也可以用于測量液體。
圖6-22為邊界層流量計(jì)的結(jié)構(gòu)原理。在測量管的外側(cè)繞一電加熱線圈，在電加熱絲兩側(cè)安裝兩個(gè)溫度計(jì)，將加熱絲夾在中間。當(dāng)電加熱絲通電加熱時(shí)，加熱器向管道內(nèi)部提供熱量，通過管壁、邊界層將熱量傳遞到管內(nèi)流體。不管管內(nèi)流動是層流還是紊流，在管壁附近都存在一層邊界層。邊界層內(nèi)的熱傳遞可以看做是純導(dǎo)熱方式進(jìn)行的，紊流流動時(shí)，由于管道材料的導(dǎo)熱性能很好，管道中心的紊流部分溫度也幾乎一樣，所以管壁外部與管道中心的溫度差ΔT幾乎完全發(fā)生在邊界層內(nèi)。其溫度分布如圖6-22下半部所示，實(shí)線為紊流情況下的分布，虛線為層流情況下分布。
設(shè)邊界層的傳熱系數(shù)為h，加熱線圈的有效傳熱面積為A，則單位時(shí)間傳遞給流體的熱量Q為：
Q=AΔTh (6-27)
邊界層的傳熱系數(shù)h 是質(zhì)量流量的函數(shù)，根據(jù)雷諾等的研究結(jié)果，紊流流動時(shí)，傳遞給流體的熱量Q與質(zhì)量流量qm之間有以下關(guān)系
