熱式質(zhì)量流量計(jì)
熱式質(zhì)量流量計(jì)（Theermal Mass flowmeters,簡(jiǎn)稱TMF）在國(guó)內(nèi)習(xí)慣稱為熱式流量計(jì)，是利用流體流過(guò)外熱源加熱的管道時(shí)產(chǎn)生的溫度場(chǎng)變化來(lái)測(cè)量流體質(zhì)量流量，或利用加熱流體時(shí)流體溫度上升某一值所需的能量與流體質(zhì)量之間的關(guān)系來(lái)測(cè)量流體質(zhì)量的一種流量?jī)x表。一般用來(lái)測(cè)量氣體的質(zhì)量流量。具有壓損低；流量范圍度大；高精度、高重復(fù)性和高可靠性；無(wú)可動(dòng)部件以及可用于極低氣體流量監(jiān)測(cè)和控制等特點(diǎn)。
1.托馬斯流量計(jì)
2.
浸入型熱式質(zhì)量流量計(jì)
浸入型TMF是在原來(lái)熱線接觸式流量計(jì)的基礎(chǔ)上發(fā)展起來(lái)的一種堅(jiān)固型熱式質(zhì)量流量計(jì)，它解決了接觸式TMF在結(jié)構(gòu)上的缺陷，采用適用于工業(yè)應(yīng)用的堅(jiān)固的高可靠性傳感器，近二十多年來(lái)得到了很快的發(fā)展。
① 浸入型熱式質(zhì)量流量計(jì)原理
② 浸入型熱式質(zhì)量流量的分類
③ 浸入型熱式質(zhì)量流量計(jì)的特點(diǎn)
3.熱分布型熱式質(zhì)量流量計(jì)
從圖6-14的曲線可知，浸入型TMF工作在曲線的后半段，質(zhì)量流量與溫差ΔT成反比，不能用來(lái)測(cè)量微小流量。熱分布型TMF是近二十多年來(lái)發(fā)展起來(lái)的測(cè)量微小氣體流量的儀表。它工作在圖6-14曲線的前半段，在一定的流量范圍內(nèi)，質(zhì)量流量與溫差ΔT成正比，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制備、石油化工、冶金、制藥、原子能等工業(yè)中微小氣體流量測(cè)量。
① 熱分布型熱式質(zhì)量流量計(jì)的原理
②熱分布型熱式質(zhì)量流量計(jì)的結(jié)構(gòu)與分類
③ 熱分布型熱式質(zhì)量流量計(jì)的特點(diǎn)
A.熱分布型熱式質(zhì)量流量計(jì)的優(yōu)點(diǎn)
B.熱分布型熱式質(zhì)量流量計(jì)的缺點(diǎn)
④ 熱分布型熱式質(zhì)量流量計(jì)的使用
4.邊界層流量計(jì)
① 邊界層流量計(jì)測(cè)量原理
② 邊界層流量計(jì)存在的問(wèn)題
上述可知，邊界層流量計(jì)在保持管內(nèi)流動(dòng)邊界層內(nèi)外溫差ΔT為常數(shù)時(shí)，質(zhì)量流量與加熱量之間存在一定對(duì)應(yīng)關(guān)系。但這樣的關(guān)系直接受流體的熱導(dǎo)率、比熱容、粘度等參數(shù)的影響。但由于流體溫度或組成的變化，流體的這些參數(shù)也將發(fā)生變化，并且直接對(duì)測(cè)量造成誤差。
在流體是氣體的情況下，普朗特參數(shù)幾乎不受流體組成變化的影響，因此，由組成變化造成的誤差可以忽略不計(jì)。
在流體是液體的情況下，由流體組成變化對(duì)測(cè)量造成的影響與流動(dòng)狀態(tài)有關(guān)。紊流流動(dòng)時(shí)，比熱容變化5%將會(huì)造成流量2%的測(cè)量誤差，但如果cp與η的變化相互抵消的話，流量測(cè)量的整體誤差可以消除。熱導(dǎo)率受組成變化的影響一般較小。
